• 天津市西马机电设备销售有限公司

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    EH系列

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    我公司为客户量身设计单台真空设备和系统工程,并提供详细的售前技术咨询,售中技术支持,售后技术服务

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    概述

    防爆型机械增压泵已经过鉴定,可以在潜在易爆气体环境中使用。
    EH250C 机械增压泵已经过鉴定,可用于 CSA Division 1 区域、气体 Class I、Group C D 和灰尘 Class II Group F G、温度 Class T3C。泵的温度分类基于在零流量、低于 10 mbar (1 x 103 Pa) 的临界前级压力下保持的泵出气口压力。
    防爆型机械增压泵可能配备防爆型电机,或作为防爆型系统的一部分供货。请咨询 Edwards。

    技术数据

    容积(工作容积)
    50Hz310 m3h-1/185 ft3min-1
    60Hz375 m3h-1/220 ft3min-1
    使用后备泵时的有效抽取速度
    E1M40 或 E2M40240 m3h-1/141 ft3min-1
    E1M80 或 E2M80274 m3h-1/161 ft3min-1
    泵的压差
    50Hz0-180 mbar/0-140 Torr
    60Hz0-150 mbar/0-115 Torr
    入口连接ISO63
    出口连接ISO40
    转速 ?
    50Hz0-2900 rpm
    60Hz0-3500 rpm
    连续入口操作压力0-1000 mbar/0-760 Torr
    较大出口压力1000 mbar/760 Torr
    推荐的后备泵GV80,E1M/E2M40,E1M/E2M80
    电源电压,3 相
    50Hz220 – 240V/380 – 415V
    60Hz230V/460V
    马达功率
    碳氢化合物2.2kW/3hp
    PFPE2.2kW/3hp
    ATEX2.2kW
    防爆型3 相
    环境温度范围
    操作5 至 40°C/40 至 104°F
    存储-10 至 80°C/14 至 176°F
    较大操作湿度90% RH
    推荐用油
    标准型Ultragrade 20
    PFPE 版本Fomblin YVAC 16/6
    油容量
    联结器箱1.5 升/1.6 qt
    轴杆封口储油器0.125 升
    重量*69 kg/152 lb

    功能和优势


    • 适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要超过 3000 m3h-1/1776 ft3min-1的高抽速的应用场合。
    • 它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。
    • EH 泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供:
      • 安静的无振动运行。
      • 牢靠且防腐蚀。
      • 先进的轴封技术,处理舱中不会出现油污染
    • 防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。
    • 经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子,并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门,因此可将维护要求降到较低。
    • 轴封的设计经过优化,可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要较高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外,这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。
    • 动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小,而这些特点正是先进技术设备的制造商所需要的。

    • 应用

      • 半导体制程
      • 真空蒸馏
      • 真空包装
      • 钢脱气
      • 薄膜覆层
      • 真空冶金
      • 低密度风洞
      • 空间模拟
      • 真空浸渍
      • 油干燥和脱气
      • 制药冷冻干燥
      • CO2 激光




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